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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司
AML超高真空Bayard-Alpert离子规、有源皮拉尼规、控制器及线缆
7抽超高真空高低温防辐射运动平台，底部的两个旋转轴是同心且独立旋转，其机械整步分辨率0.001°

M63_1_grey+文字.jpg

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

其他参数

Z1上下移动100mm1μm   安装探测器
R1360旋转
0-355°0.001°2 °/s   探测器旋转
R2360旋转0-355°0.001°2 °/s   样品旋转
R3360旋转0-360°0.001°安装样品自转
Z2上下移动50mm1μm5mm/s
Y左右移动100mm1μm5mm/s
X前后移动350mm1μm5mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-65℃~+175℃

3，烘烤温度：200℃

4，R1和R2是同轴并且可以独立旋转

5,   样品重量20kg，探测器重量5kg

6，参数表中的分辨率是指机械整步分辨率，指电机旋转1.8°，机械运行0.001°/1μm，并非经过驱动器细分后的分辨率。

尺寸图


产品视频