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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

AML超高真空Bayard-Alpert离子规、有源皮拉尼规、控制器及线缆

一，四轴超高真空运动平台（信息属于北京星微自动化科技有限公司所有，任何未经允许的复制都是被禁止的）

轴系 Axis	运动方式 Type	移动范围 Movement	整步分别率 Resolution	最大速度 Max.speed
R1	旋转	360°	0.005°	10 °/s
R2	旋转	360°	0.005°	10 °/s
X1	左右移动	50mm	5μm	5mm/s
X2	前后移动	50mm	5μm	5mm/s
1，适应于真空度1x10^-8Pa=1x10^-10mBar 2，工作温度-65℃~+190℃ 3, 耐辐照总吸收剂量：1x10⁶Gy 4，R2和R3轴同轴独立旋转，承载探测器和样品分别旋转，互不干涉产品视频

二，4轴超高真空运动平台以（应用于半导体技术、大科学装置、材料科学、量子科学、生物医疗、粒子物理）

轴系 Axis	运动方式 Type	移动范围 Movement	整步分别率 Resolution	最大速度 Max.speed
Rz	360旋转	±45°	0.005°	10 °/s
Z	上下移动	200mm	1μm	2mm/s
Y	左右移动	150mm	1μm	2mm/s
X	前后移动	150mm	1μm	2mm/s
1，适应于真空度1x10^-8Pa=1x10^-10mBar 2，工作温度-10℃~+70℃（受真空光栅尺读数头限制） 3，烘烤温度：120℃ 4，承载：6kg 5，所有轴全部带英国雷尼绍超高真空光栅尺和读数头

视频介绍

三，7轴超高真空环境运动平台（以下产品应用于半导体技术、大科学装置、材料科学、量子科学）

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轴系 Axis	运动方式 Type	移动范围 Movement	整步分别率 Resolution	其他参数
Z1	上下移动	100mm	1μm	安装探测器
R1	360旋转	0-355°	0.001°	2 °/s 探测器旋转
R2	360旋转	0-355°	0.001°	2 °/s 样品旋转
R3	360旋转	0-360°	0.001°	安装样品自转
Z2	上下移动	50mm	1μm	5mm/s
Y	左右移动	100mm	1μm	5mm/s
X	前后移动	350mm	1μm	5mm/s
1，适应于真空度1x10^-8Pa=1x10^-10mBar 2，工作温度-65℃~+175℃ 3，烘烤温度：200℃ 4，R1和R2是同轴并且可以独立旋转 5, 样品重量20kg，探测器重量5kg 6，参数表中的分辨率是指机械整步分辨率，指电机旋转1.8°，机械运行0.001°/1μm，并非经过驱动器细分后的分辨率。

产品视频

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