AML-VSM系列超高真空高低温耐辐射直线运动平台

英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。适用于真空度:1×10⁻⁸Pa，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy（三项可选）
规格	单位	VSM17-X
行程	mm	25/50/100/150/200
整步分辩率	μm	5	1
最大速度	mm/s	15	4
推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
重复定位精度	μm	1	0.2
水平负载能力	kg	50
负载力矩	Nm	<20
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
间隙（采用消间隙技术）	μm	忽略不计
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	μrad	<25
Roll Compliance	μrad/Nm	5
Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	2
直线度	μm	<1.3μm / 100mm
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	200℃
润滑方式	可选	超高真空润滑脂/固体润滑
MTBF-5kg负载,30%占空比	小时	15000	10000

行程50mm的尺寸图如下：

注意：标准真空位移平台底座安装的时候，如果螺钉方向是从上往下安装请用M3的螺钉，如下从下往上安装请用M4的螺钉。

推荐单轴驱动器/多轴控制器：

1，型号：VD2（单轴基本型脉冲方向驱动器，客户需要有自己的上位机/控制卡/脉冲发生器）

2，型号：SMD3（AML-单轴控制型驱动器，可进行编程，同时具备VD2功能，可顺序控制16轴）

3，型号：GUC-LAN ‍ （2~16轴控制器，可进行复杂的联动控制编程）

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