英国AML-4轴超高真空运动平台
轴系
Axis
运动方式
Type
移动范围
Movement
整步分别率
Resolution
最大速度
Max.speed
1,适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar
2,工作温度-196℃~+175℃
3, 耐辐照总吸收剂量:1x106Gy
尺寸图