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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业                                          
新闻详情

AML四维特制超高真空高低温环境运动平台的真空度1e-8Pa

第一种：AML四轴真空高低温运动平台（X-Y-Z-Rz）-含超高真空限位开关

规格参数

适用真空度:1x10-10mbar=1x10-8Pa
耐辐照总吸收剂量   
                                                          1x106Gy
工作环境温度:-196ºC ~ +200ºC，烘烤温度：200℃;
有效行程:X=200mm,Y=50mm；Z=70mm，R=360°
整步分别率:X,Y,Z=5μm；R=0.01°
重复定位精度:X,Y,Z=1μm；R=优越0.01°









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