星微自动化｜专注极端环境精密运动控制｜全系列产品参数详解

北京星微自动化科技有限公司（XVAC星微自动化）

专注超高真空、高低温、耐辐照精密运动系统研发与制造

英国 AML 中国总代理，45 年真空机械工程技术积淀

产品适配：1×10⁻⁸Pa 超高真空｜-196℃~+190℃宽温域｜1×10⁶Gy 耐辐照

服务领域：航天航空、核工业、半导体、科研院所、同步辐射装置等

一、真空 / 超高真空运动平台系列

1. 超高真空升降台

・真空度：1×10⁻¹⁰mbar

・工作温度：-196℃ ~ +190℃

・特点：高刚性、升降稳定、偏载适配

2. 真空 / 超高真空旋转台

・真空度：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・负载：100kg

・分辨率：0.001°

・耐辐照：1×10⁶Gy

3. 真空 / 超高真空移动平台

・真空度：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・分辨率：1μm

・重复定位精度：＜1μm

・润滑：真空脂 / 固体润滑可选

4. 真空/ 超高真空测角平台

・真空度：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

・特点：共心旋转、角度精度高

5. 真空 / 超高真空多轴运动平台

・真空度：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

・重复精度：＜1μm

・支持：二维 / 四轴 / 同轴独立旋转定制

二、真空步进电机与减速机

1. 真空 / 超高真空步进电机

・真空：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

・步距角：1.8°

・步数：200 步 / 转

・烘烤：200℃

・传感器：K 型热电偶 / PT100 可选

・特点：洁净室组装、无颗粒、低出气

2. 真空 / 超高真空减速电机

・真空：1×10⁻¹⁰mbar

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

・特点：零背隙、消隙齿轮、高精度

三、真空辅件系列

1. 真空电极 Feedthrough

・真空：1×10⁻¹⁰mbar

・接口：CF35 / CF63

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

2. 真空高低温耐辐照线缆（KW）

・温度：-196℃ ~ +190℃

・耐辐照：1×10⁶Gy

・真空：1×10⁻¹⁰mbar

・特点：低出气、抗辐射

3. 真空离子规 & 控制器

・量程：1×10⁻¹⁰mbar ~ 常压

・类型：B-A 规、皮拉尼规

・温度：-196℃ ~ +190℃

4. 真空步进电机驱动器 SMD3

・单轴双极性

・支持 256 细分

・电机温度保护

・适配 AML 全系列真空电机

关于我们

星微自动化以极端环境精密运动控制为核心，提供从部件到整机、从标准到定制的一站式解决方案。产品广泛应用于北京光源、上海光源、散裂中子源、航天、核工业、高校科研等重大项目。

我们坚持：高可靠、高精度、高真空、耐高低温、耐辐照。

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