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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业                                          
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星微自动化重磅新品!1e-8Pa 超高真空兼容位移台,微米级精准驱动工业级应用升级

20251217

重磅新品!1e-8Pa 超高真空兼容位移台,微米级精准驱动。

在半导体制造、精密光学检测、航空航天科研等高端领域,位移台作为核心精密运动部件,其性能直接决定了设备的检测精度与生产良率。针对超高真空环境下的精密运动需求,一款集1e-8Pa 超高真空兼容性、微米级重复定位精度、紧凑无杂乱布线于一体的真空位移台重磅亮相,以全维度技术优势,重新定义超高真空精密运动解决方案。


核心配置:全真空适配组件,筑牢环境适配根基

这款位移台实现了与真空环境的深度兼容,核心部件均采用真空专用设计,彻底解决传统位移台在超高真空场景中 “水土不服” 的痛点:

搭载真空步进电机,电机运行稳定性与真空耐受性拉满,在 1e-8Pa 的超高真空环境中依旧能保持精准、平稳的动力输出,无真空污染、放气等风险;

内置真空限位开关,精准感知位移台运动行程,既避免超程运行对设备的损耗,又保障真空环境下的运行安全性;

配套真空 DB15 接头,彻底告别传统布线的杂乱问题。接头采用真空密封设计,实现信号传输与真空密封的双重需求,让真空腔体内布线更简洁、规范,大幅降低真空环境中因引线杂乱引发的污染、漏气等隐患。


性能标杆:微米级精准,解锁精密运动新高度

作为精密运动核心部件,位移台的定位精度是核心竞争力。这款真空位移台将重复定位精度控制在1 微米以内,搭配超高真空环境适配性,在 1e-8Pa 的严苛真空条件下,依旧能保持毫米级行程内的微米级精准定位,满足芯片封装、光学干涉测量、原子级表征等场景对位移精度的极致要求。

无论是微小位移的精准微调,还是连续行程的稳定驱动,其高精度特性都能确保每一次运动都无偏差,为高端科研与工业生产提供可靠的运动支撑。


设计巧思:紧凑结构 + 无杂乱布线,适配真空场景刚需

针对真空腔体空间有限、布线规范要求高的行业痛点,这款位移台在结构设计上做到极致优化:

整体结构紧凑,体积小巧却兼顾高负载与高机动性,适配各类小型真空腔体的安装需求,不占用额外空间;

创新采用真空 DB15 接头整合布线方案,彻底摒弃传统位移台凌乱引线的弊端。信号传输通过密封接头一站式完成,不仅简化了真空腔体内的布线流程,降低布线难度,还减少了引线对真空环境的干扰,从设计层面提升真空系统的可靠性与维护便捷性。


应用价值:赋能高端领域,突破技术瓶颈

在半导体领域,它可支撑芯片刻蚀、晶圆检测等工序的精密位移需求,助力芯片制造良率提升;

在航空航天科研中,适配卫星部件检测、空间光学仪器调试等超高真空场景,保障精密实验数据的准确性;

在精密光学与生命科学领域,为光学干涉测量、细胞显微操作等实验提供微米级精准运动基础,推动前沿科研成果落地。

这款真空位移台以 “超高真空兼容 + 微米级精准 + 紧凑无杂乱布线” 三大核心优势,精准击中高端精密运动场景的核心痛点。无论是半导体量产、前沿科学实验还是高端装备制造,都能凭借其卓越性能,成为突破技术瓶颈、提升产品竞争力的关键核心部件,为超高真空精密运动领域注入全新动力。

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