AML二维/三维超高真空运动平台（旋转+水平移动 / 旋转+前后+左右移动）
规格参数
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| 工作真空度: | 1x10-10 mbar |
| 工作环境温度: | -196ºC ~ +200ºC，烘烤温度：200℃; |
| 有效行程: | R=360°,X=25mm |
| 整步分别率: | R=0.1°（可通过驱动器细分来提高分别率），X=1μm |
| 重复定位精度: | R=0.01°，X=0.2μm |
| 承载重量: | 旋转承载=3kg，水平移动承载=50kg |
英国AML-3轴超高真空运动平台-Z轴特殊设计（实物涉及保密，无法展示）
轴系 Axis | 运动方式 Type | 移动范围 Movement | 整步分别率 Resolution | 重复定位精度 Repeatability | 最大速度 Max.speed |
| X | 左右移动 | 100mm | 1μm | 0.2μm | 5mm/s |
| Y | 前后移动 | 100mm | 1μm | 0.2μm | 5mm/s |
| Z | 上下移动 | 75mm | 1μm | 0.2μm | 2mm/s |
1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar 2，耐辐照总吸收剂量：1x106Gy 3，工作环境温度-65℃/-196℃~+175℃ 4，烘烤温度：200℃ 5，承载10kg |
尺寸图 
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AML二维/三维超高真空运动平台（旋转+水平移动 / 旋转+前后+左右移动）
