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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

Z/Rz 竖直&旋转真空模组
产品详情


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英国AML二维超高真空旋转台（旋转+竖直移动）　

规格参数

工作真空度:1e-10 mbar
工作温度:-65ºC ~ +200ºC，烘烤温度：200℃;
有效行程:R=360°, Z=250mm
整步分别率:R=0.036°（可通过驱动器细分来提高分别率），Z=10μm
重复定位精度:R=0.005°，Z=5μm
承载重量:

40-50kg