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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

四维X/Y/Z/R真空运动模组
产品详情

AML-4轴超高真空运动平台

此真空运动平台的特点：两个旋转台R2和R3是同轴旋转并且是独立旋转，互不干涉；

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

最大速度

Max.speed

R3旋转360°0.005°10 °/s
R2旋转360°0.005°10 °/s
X1左右移动50mm5μm5mm/s
X4前后移动50mm5μm5mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-65℃~+190℃

3,   耐辐照总吸收剂量：1x106Gy