
英国AML-4轴超高真空运动平台
此真空运动平台的特点:两个旋转台R2和R3是同轴旋转并且是独立旋转,互不干涉;
轴系 Axis | 运动方式 Type | 移动范围 Movement | 整步分别率 Resolution | 最大速度 Max.speed |
R3 | 旋转 | 360° | 0.005° | 10 °/s |
R2 | 旋转 | 360° | 0.005° | 10 °/s |
X1 | 左右移动 | 50mm | 5μm | 5mm/s |
X4 | 前后移动 | 50mm | 5μm | 5mm/s |
1,适应于真空度1E-8Pa=1E-10mBar 2,工作环境温度-65℃~+175℃ 3,烘烤温度:200℃ 4,承载3kg 5,重复定位精度:直线移动1μm,旋转的0.001° |
尺寸图 
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