英国AML-4轴超高真空运动平台
此真空运动平台的特点：两个旋转台R2和R3是同轴旋转并且是独立旋转，互不干涉；
轴系 Axis | 运动方式 Type | 移动范围 Movement | 整步分别率 Resolution | 最大速度 Max.speed |
| R3 | 旋转 | 360° | 0.005° | 10 °/s |
| R2 | 旋转 | 360° | 0.005° | 10 °/s |
| X1 | 左右移动 | 50mm | 5μm | 5mm/s |
| X4 | 前后移动 | 50mm | 5μm | 5mm/s |
1，适应于真空度1E-8Pa=1E-10mBar 2，工作环境温度-65℃~+175℃ 3，烘烤温度：200℃ 4，承载3kg 5，重复定位精度：直线移动1μm，旋转的0.001° |
尺寸图 
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