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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

六维XYZRz/Rx/Ry真空模组
产品详情

AML-六维超高真空运动平台

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

最大速度

Max.speed

Ry偏摆
±15°0.005°10 °/s
Rx倾斜±15°0.005°10 °/s
Rz360旋转±180°0.01°20 °/s
Z上下移动50mm1μm2mm/s
Y左右移动85mm1μm5mm/s
X前后移动85mm1μm5mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-65℃~+175℃

3，烘烤温度：200℃

4，承载5kg（镜片）

5,   耐辐照总吸收剂量：1x106Gy