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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

XVSC-真空位移台
产品详情

20200515

XVLT系列真空运动平台属于北京星微自研产品，其中导轨，丝杆、螺母，真空兼容的材料以及特殊传动装置全部由北京星微在国内生产并装配而成，可在真空度为10Pa~1x10-4Pa 环境中使用，也可以根据要求定制。

规格

单位

XVLT

行程（可定制）

mm

50/100/150/200/250/300/350/400

整步分别率

mm

0.01

最大速度

mm/s

10

推荐真空环境中速度

mm/s

2

重复定位精度

mm

0.005

水平负载能力

kg

30

负载力矩

Nm

<10

轴向力

kg

10
工作环境温度℃

-40℃ ~ +80ºC

适用于真空度

mBar

10Pa~1x10-4Pa


50mm和100mm尺寸图

20231120


150mm和200mm尺寸图

300mm和400mm行程尺寸图

订单型号
XVLT4201-xxx-*4201表示使用42真空电机，xxx表示有效行程，*表示特殊定制
XVLT5701-xxx-*5701表示使用57真空电机，xxx表示有效行程，*表示特殊定制