规格
单位
行程（可定制）
mm
整步分别率
最大速度
mm/s
推荐真空环境中速度
重复定位精度
水平负载能力
kg
50
负载力矩
Nm
<20
轴向力
-40℃ ~ +80ºC
适用于真空度
mBar
1 x 10-7mbar
XVLT4201-050 尺寸图
XVLT5701-050 尺寸图
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真空高低温耐辐照步进电机
英国AML（成立于1981年）超高真空宇航级步进电机的清洁、组装、测试、真空密封包装都是在洁净室内完成；由于专利设计，特种材料的选择，结构的改进，从而大大的减少了温升和逸气。其中电机表面的亚光黑色是蚀刻并镀类金刚石薄膜（DLC工艺和PECVD来层压的硅钢）以增加发射率并减少逸气/脱气，其整体性能要优越纯不锈钢表面。适用真空度:1×10⁻⁸Pa，工作环境温度:-65/-196℃～+200℃，耐辐照总吸收剂量:1×10⁶Gy.（三项可选）
真空高低温耐辐照旋转台
AML超高真空兼容RSB系列旋转台适用于无偏载的应用的间歇旋转或作为精密齿轮箱。 它们采用超高真空兼容材料和构造方法制造，并使用AML D35.1-UHV-1特超高真空步进电机。 RSB10K / 20K / 30K可以直接安装在AML LTV转换台上，也可以堆叠在另一个RSB上，而无需其他硬件。
真空高低温耐辐照转台
RSX3K6 / RSX3K6-E采用符合超高真空标准的材料和ISO7洁净室中的特殊工艺制造，并采用精密环形交叉滚子轴承和英国雷尼绍超高真空圆光栅，从而提供高旋转精度，能够承受各个方向的负载。 它具有18mm通光孔径，防侧隙正齿轮传动装置，可选配雷尼绍的超高真空旋转编码器。可根据要求定制；
真空高低温耐辐照运动平台
英国AML超高真空/高低温/耐辐射位移台-LTV系列，使用超高真空“V”型精密研磨导轨，通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的螺母、消间隙螺母、超高真空步进电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑运动，
适用真空度:1×10⁻⁸Pa，工作环境温度:-65/-196℃～+200℃，耐辐照总吸收剂量:1×10⁶Gy.（三项可选）
真空高低温耐辐照运动平台
英国AML超高真空/高低温/耐辐射位移台-LTX系列具有很高的刚性和精度，使用特殊专利性处理的交叉滚子导轨，非常适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。适用于真空度:1×10⁻⁸Pa，工作环境温度:-65/-196℃～+200℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy（三项可选）
真空电极Feedthrough（真空腔体贯穿件）
MLF18F 18-way feedthrough on a DN40 CF flange (70 mm OD). Individual glass compression seals and bakeable to 250°C.
真空电极Feedthrough配件（真空侧）
Bakeable male and female 18-way connectors. The female connector mates to either the male connector or to the vacuum-side of the MLF18F feedthrough.
真空电极Feedthrough配件（大气侧）
Bakeable connector which mates with the air-side of the MLF18F feedthrough.
真空高低温耐辐照线缆
UHV Compatible Wire & Thermocouple
Polyimide covered wire and type K thermocouple.
真空步进电机驱动器
The SMD3 is a single-axis bipolar stepper motor drive that is engineered to operate vacuum-compatible stepper motors with maximum performance while minimising temperature rise. It is optimised for use with AML UHV-compatible motors.
