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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM17-X 真空位移台
产品详情

AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可以直接堆叠XY二维真空运动平台，无需转接板。

适用于真空度:1x10-10mbar，工作温度:-196℃～+190℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM17-X-***VSM17-X-***-HR

行程

mm

50/100/150/200

整步分辩率

μm

5

1

最大速度

mm/s

15

3

推荐真空环境中最大速度

mm/s

5

1

重复性 Repeatability

μm

优于1μm

水平负载能力

kg

50

负载力矩

Nm

<30

轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A

kg

15

间隙 Backlash

μm

优于分辨率

直线度

μm

<5μm / 100mm

工作温度

℃

-65℃/-196ºC ~ +175ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C铝合金150℃，不锈钢200℃，带光栅尺120℃
润滑方式可选超高真空润滑脂/固体润滑

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000
5微米分辨率 订货型号如下：
VSM17-X-******表示行程，标准平台无限位，无光栅尺，平台主体是铝合金材质
VSM17-X-***-SS***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM17-X-***-LS***表示行程，LS表示增加2个前后限位开关
VSM17-X-***-ER***表示行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）
VSM17-X-***-R***表示行程，R表示真空耐辐射版本
1微米分辨率 订货型号如下：
VSM17-X-***-HR***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺，平台主体是铝合金材质
VSM17-X-***-SS-HR***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM17-X-***-HR-LS***表示行程，LS表示增加前后2个限位开关
VSM17-X-***-HR-ER***表示行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）
VSM17-X-***-HR-R***表示行程，R表示真空耐辐射版本
订货示例：VSM17-X-100-SS-HR-LS-R（100mm行程，1μm整步分辨率，不锈钢版，增加限位，真空辐射版）

详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看：

‍20190912‍‍‍‍‍‍‍‍ AML-VSM系列真空运动平台‍‍‍

20190912‍‍‍‍‍‍‍‍ VSM17-X-050二维图

20190912‍‍‍‍‍‍‍‍ ‍VSM17-X-100二维图‍

20190912‍‍‍‍‍‍‍‍ ‍VSM17-X-150二维图‍

20190912‍‍‍‍‍‍‍‍ VSM17-X-200二维图‍‍


VSM17-X-100 （铝合金版本）实物视频


转接板详细资料请点击如下链接： AML真空转接板