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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM17-X 真空位移台

产品详情

英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有高的刚性和精度,使用特殊处理的交叉滚子导轨,适合于偏载的应用,并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ,可根据要求定制;

适用于真空度:1x10-10mbar,工作温度:-196℃~+190℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM17-X-***VSM17-X-***-HR

行程

mm

50/100/150/200

整步分辩率

μm

5

1

最大速度

mm/s

15

3

推荐真空环境中最大速度

mm/s

5

1

重复性 Repeatability

μm

优于1μm

水平负载能力

kg

50

负载力矩

Nm

<30

轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A

kg

15

间隙 Backlash

μm

优于分辨率

直线度

μm

<3μm / 100mm

工作温度

-65℃/-196ºC ~ +175ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C铝合金150℃,不锈钢200℃,带光栅尺120℃
润滑方式可选超高真空润滑脂/固体润滑

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000
5微米分辨率 订货型号如下:
VSM17-X-******表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM17-X-***-SS***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM17-X-***-LS***表示行程,LS表示增加2个前后限位开关
VSM17-X-***-ER***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA)
VSM17-X-***-R***表示行程,R表示真空耐辐射版本
1微米分辨率 订货型号如下:
VSM17-X-***-HR***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM17-X-***-SS-HR***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM17-X-***-HR-LS***表示行程,LS表示增加前后2个限位开关
VSM17-X-***-HR-ER***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA)
VSM17-X-***-HR-R***表示行程,R表示真空耐辐射版本
订货示例:VSM17-X-100-SS-HR-LS-R(100mm行程,1μm整步分辨率,不锈钢版,增加限位,真空辐射版)

详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:

20190912‍‍‍AML-VSM系列真空运动平台‍

20190912‍‍‍VSM17-X-050二维图

20190912‍‍‍VSM17-X-100二维图

20190912‍‍‍VSM17-X-150二维图

20190912‍‍‍VSM17-X-200二维图


VSM17-X-100 (铝合金版本)实物视频



转接板详细资料请点击如下链接: AML真空转接板