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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

四维X/Y/Z/R真空移动平台
产品详情

AML四维超高真空高低温耐辐射位移台-是由标准VSM系列搭建，具有高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。

适用于真空度:1x10-10mbar，工作温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM17-XYZR-***VSM17-XYZR-***-HR

行程

mm

50/100/150/200

整步分辩率

μm

5

1

最大速度

mm/s

15

3

推荐真空环境中速度

mm/s

2

1

重复性 Repeatability

μm

优于1μm

水平负载能力

kg

20

负载力矩

Nm

<30

转动, 俯仰 & 偏载 (无负载

°

<±0.0045°

Roll Compliance

°/Nm

0.00092°

Pitch & Yaw Compliance

°/Nm

0.00092°

直线度

μm

3μm / 100mm

工作温度

℃

-65℃/-196ºC ~ +175ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C200℃
润滑方式可选超高真空润滑脂/固体润滑

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000

15000

5μm直线分辨率+0.005°旋转分辨率 订单型号
VSM17-XYZR-******表示行程，标准平台无限位，无光栅尺
VSM17-XYZR-***-LS***表示行程，LS表示增加2个前后限位开关
VSM17-XYZR-***-E***表示行程，E表示增加光栅尺（增量式/绝对式）
VSM17-XYZR-***-R***表示行程，R表示真空耐辐射版本
1μm直线分辨率+0.005°旋转分辨率订货型号
VSM17-XYZR-***-HR***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺
VSM17-XYZR-***-HR-LS***表示行程，LS表示增加前后2个限位开关
VSM17-XYZR-***-HR-E***表示行程，E表示增加光栅尺（增量式/绝对式）
VSM17-XYZR-***-HR-R***表示行程，R表示真空耐辐射版本

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