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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

四维X/Y/Z/R真空运动平台
产品详情

AML-四维超高真空运动平台

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

最大速度

Max.speed

Rz360旋转±180°0.01°20 °/s
Z上下移动250mm1μm2mm/s
Y左右移动400mm5μm5mm/s
X前后移动400mm5μm5mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-65℃~+175℃

3，烘烤温度：200℃

4，承载20kg

5,   耐辐照总吸收剂量：1000000Gy

视频介绍