适用于真空度:1x10-10mbar,工作环境温度:-65/-196℃~+175℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格
单位
行程
mm
整步分辩率
μm
最大速度
mm/s
5
推荐真空环境中速度
2
重复性 Repeatability
0.26
中心负载能力
kg
30
负载力矩
Nm
80
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)
°
°/Nm
±0.003
直线度
5μm / 100mm
工作温度
-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度
mBar
1 x 10-10mbar=1x10-8Pa
重量
尺寸图如下:
订购时请一定核对好型号所表示的定义及对应产品尺寸
AML-VSM17-Z系列真空运动平台
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