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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM17-Z 真空升降平台

产品详情

英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有高的刚性和精度,使用特殊性处理的交叉滚子导轨,适合于偏载的应用,并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可根据要求定制;

适用于真空度:1x10-10mbar,工作环境温度:-65/-196℃~+175℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM17-Z-***

行程

mm

50 / 70

整步分辩率

μm

1

最大速度

mm/s

5

推荐真空环境中速度

mm/s

2

重复性 Repeatability

μm

0.26

中心负载能力

kg

30

负载力矩

Nm

80

转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)

°

±0.0045
Roll,Pitch & Yaw Compliance

°/Nm

±0.003

直线度

μm

3μm / 100mm

工作温度

-65℃/-196ºC ~ +175ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C200℃(当增加光栅尺的时候是120℃)
润滑方式可选超高真空润滑脂/固体润滑

重量   

kg

2.1 / 2.6

尺寸图如下:


订单型号
VSM17-Z-xxxxxx表示有效行程,标准平台(无限位,无光栅尺)
VSM17-Z-xxx-LSxxx表示有效行程,LS表示增加前后2个真空限位开关
VSM17-Z-xxx-E
xxx表示有效行程,E表示增加真空光栅尺及读数头

订购时请一定核对好型号所表示的定义及对应产品尺寸

20190912‍‍‍AML-VSM17-Z系列真空运动平台‍


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