VSM17-Z 真空升降平台

产品详情

AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有高的刚性和精度，使用特殊性处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可根据要求定制；适用于真空度:1x10^-10mbar，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM17-Z-050	VSM17-Z-070
行程	mm	50	70
整步分辩率	μm	1
最大速度	mm/s	5
推荐真空环境中速度	mm/s	2
重复性 Repeatability	μm	0.26
中心负载能力	kg	30
负载力矩	Nm	80	42
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载）	°	±0.0045	±0.0038
Roll,Pitch & Yaw Compliance	°/Nm	±0.003	±0.004
直线度	μm	5μm / 100mm
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	200℃（当增加光栅尺的时候是120℃）
润滑方式	可选	超高真空润滑脂/固体润滑
重量	kg	2.1	2.6

尺寸图如下：

订单型号
VSM17-Z-xxx	xxx表示有效行程，标准平台（无限位，无光栅尺）
VSM17-Z-xxx-LS	xxx表示有效行程，LS表示增加前后2个真空限位开关
VSM17-Z-xxx-ER	xxx表示有效行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）
订购时请一定核对好型号所表示的定义及对应产品尺寸 ‍‍‍‍‍‍‍‍‍ AML-VSM17-Z系列真空运动平台‍‍‍ 实物‍视频