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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

四维闭环真空平台X/Y/Z/Rz
产品详情

AML-四维超高真空运动平台

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

最大速度

Max.speed

Rz360旋转±45°0.005°10 °/s
Z上下移动200mm1μm2mm/s
Y左右移动150mm1μm2mm/s
X前后移动150mm1μm2mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-10℃~+70℃（受真空光栅尺读数头限制）

3，烘烤温度：120℃

4，承载：6kg

5,   耐辐照总吸收剂量：1000000Gy

6，所有轴全部带英国雷尼绍超高真空光栅尺和读数头













视频介绍