三维X-Y-Z真空运动平台

产品详情

AML三维超高真空高低温耐辐射位移台-是由标准VSM系列搭建，具有高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。适用于真空度:1x10^-10mbar，工作温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM17-XYZ-***	VSM17-XYZ--HR*
行程	mm	XY=50/100/150/200; Z=50
整步分辩率	μm	5	1
最大速度	mm/s	15	3
推荐真空环境中速度	mm/s	2	1
重复性 Repeatability	μm	优于1μm
最终水平负载能力	kg	20
负载力矩	Nm	<30
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	°	<±0.0045°
Roll Compliance	°/Nm	0.00092°
Pitch & Yaw Compliance	°/Nm	0.00092°
直线度	μm	3μm / 100mm
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	200℃
润滑方式	可选	超高真空润滑脂/固体润滑
MTBF-5kg负载,30%占空比	小时	15000

5μm分辨率订单型号
VSM17-XYZ-***	***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺
VSM17-XYZ--LS*	***表示行程，LS表示增加2个前后限位开关
VSM17-XYZ--E*	***表示行程，E表示增加光栅尺（增量式/绝对式）
VSM17-XYZ--R*	***表示行程，R表示真空耐辐射版本
1μm分辨率订货型号
VSM17-XYZ--HR*	***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺
VSM17-XYZ--HR-LS*	***表示行程，LS表示增加前后2个限位开关
VSM17-XYZ--HR-E*	***表示行程，E表示增加光栅尺（增量式/绝对式）
VSM17-XYZ--HR-R*	***表示行程，R表示真空耐辐射版本
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