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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

AML四轴超高真空运动平台
产品详情

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

最大速度

Max.speed

X前后运动       100mm5μm2mm/s
Y左右运动50mm5μm2mm/s
Z上下移动100mm1μm2mm/s
R旋转运动360°0.005°10°/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar；

2，工作温度-196℃~+175℃；

3,   耐辐照总吸收剂量：1x106Gy；

4，承载重量：5kg；

5，所有轴均有超高真空限位开关；

6，应用于粒子物理，材料分析；