5微米分辨率 订货型号如下: |
VSM23-X-*** | ***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质 |
VSM23-X-***-SS | ***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质 |
VSM23-X-***-LS | ***表示行程,LS表示增加2个前后限位开关 |
VSM23-X-***-ER | ***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA) |
VSM23-X-***-R | ***表示行程,R表示真空耐辐射版本 |
1微米分辨率 订货型号如下: |
VSM23-X-***-HR | ***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质 |
VSM23-X-***-SS-HR | ***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质 |
VSM23-X-***-HR-LS | ***表示行程,LS表示增加前后2个限位开关 |
VSM23-X-***-HR-ER | ***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA) |
VSM23-X-***-HR-R | ***表示行程,R表示真空耐辐射版本 |
订货示例:VSM23-X-450-SS-HR-LS-R(450mm行程,1μm整步分辨率,不锈钢版,增加限位,真空辐射版) |
详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:
AML-VSM23系列真空运动平台 |