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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM23-X 真空位移台

产品详情

英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM23系列的行程范围从100到450毫米,可以支持负载高达20公斤,整步分辨率1µm和5µm两种规格,此结构具有高的刚性,标准化的模块化设计可直接兼容所有VSM23和VSM17系列的真空运动平台,可以直接堆叠XY二维真空运动平台,无需转接板

适用于真空度:1x10-10mbar,工作温度:-196℃~+190℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM23-X-***VSM23-X-***-HR

行程

mm

100/150/200/250/300/350/400/450

整步分辩率

μm

5

1

最大速度

mm/s

25

5

双向重复定位精度

μm

优于1μm

水平负载能力

kg

20

负载力矩

Nm

10

轴向力@1A

kg

10

间隙 Backlash

μm

±1μm

工作温度

-65℃/-196ºC ~ +190ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C铝合金150℃,不锈钢200℃,带光栅尺120℃
润滑方式可选超高真空润滑脂/固体润滑

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000
5微米分辨率 订货型号如下:
VSM23-X-******表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM23-X-***-SS***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM23-X-***-LS***表示行程,LS表示增加2个前后限位开关
VSM23-X-***-ER***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA)
VSM23-X-***-R***表示行程,R表示真空耐辐射版本
1微米分辨率 订货型号如下:
VSM23-X-***-HR***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM23-X-***-SS-HR***表示行程,标准平台无限位,无光栅尺, 平台主体是不锈钢材质
VSM23-X-***-HR-LS***表示行程,LS表示增加前后2个限位开关
VSM23-X-***-HR-ER***表示行程,ER表示增加增量式光栅尺(绝对式为EA)
VSM23-X-***-HR-R***表示行程,R表示真空耐辐射版本
订货示例:VSM23-X-450-SS-HR-LS-R(450mm行程,1μm整步分辨率,不锈钢版,增加限位,真空辐射版)

详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:

20190912‍‍‍AML-VSM23系列真空运动平台‍‍‍

VSM23-X-100-LS/HR实物视频





20230620