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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM24 真空转台(重载)

产品详情
VSM24-R系列采用符合超高真空标准的材料以及在ISO7洁净室中的特殊工艺制造,此旋转台设计用于高负载应用,并且具有高规格轴承和刚性轴承布置,非常适合高负载能力和悬臂负载的应用。
型号
VSM24-RVSM24-R-AB
旋转范围   360°连续旋转0~360°
整步分辨率   
0.005°
每转脉冲数72000
双向重复性
N/A0.025°
单向重复性0.1°
0.02°
背隙(Backlash)
0.15°<0.005°
最大速度
5rpm
中心承载250kg
适用真空度1x10-10mbar=1x10-8Pa
最大扭矩15Nm
同心度
优于±20μm
台面中孔直径22mm
重量10kg

主体尺寸图


详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:

20190912‍‍‍‍‍‍AML-VSM24-R系列真空旋转平台‍

订货编号
VSM24-R标准超高真空旋转平台
VSM24-R-AB标准超高真空旋转平台,增加防反弹弹簧,改善间隙
VSM24-R-LS增加2个限位开关在转台上
VSM24-R-ER增加雷尼绍Tonic系列真空光栅尺
订货示例:VSM24-R-AB-LS(增加反弹弹簧限制角度,增加2个限位开关)

详细请联系北京星微自动化科技有限公司