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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM17-R-3K6真空转台

产品详情

VSM17-R系列采用符合真空标准的材料和ISO7洁净室中的特殊工艺制造,并采用精密环形轴承从而提供高旋转精度。 它具有18mm通光孔径,防侧隙正齿轮传动装置,可选配雷尼绍的超高真空光栅尺或者超高真空限位开关。
型号
VSM17-R-3K6
旋转范围   360°
整步分辨率0.1°
带载最大速度
100转/分钟
同心度±5μm
中心承载100kg
适用真空度1x10-10mbar=1x10-8Pa
耐辐照总吸收剂量1x106Gy
最大扭矩
1 Nm
工作温度
-65℃/-196℃~+200℃
台面中孔直径18mm
传动方式   消间隙正齿轮(无自锁)
重量1.7kg
使用电机D35.1


VSM17-R-3K6 主体尺寸图





详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:

20190912‍‍‍‍‍‍AML-VSM系列真空旋转平台‍

订货编号
VSM17-R-3K6标准超高真空旋转平台
VSM17-R-3K6-R真空辐射版本
VSM17-R-3K6-ER/EA增加雷尼绍真空光栅尺(增量/绝对式)
VSM17-R-3K6-LS增加一个限位开关(参考点)