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sales@xivimotion.com
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专注于超高真空（1×10⁻⁸Pa）、高低温（-196℃~+190℃）、耐辐照（1×10⁶Gy）、精密运动系统的高科技企业

五轴超高真空位移台
产品详情

M73_1_Grey (1).jpg

轴系

Axis

运动方式

Type

移动范围

Movement

整步分别率

Resolution

其他参数

Rx360旋转0-360°0.1°100rpm
Rz360旋转0-360°0.1°100rpm
Z上下移动50mm1μm5mm/s
Y左右移动50mm5μm15mm/s
X前后移动50mm5μm15mm/s

1，适应于真空度1x10-8Pa=1x10-10mBar

2，工作温度-65℃~+175℃

3，烘烤温度：200℃