
R3系列采用符合超高真空标准的材料,并采用精密环形轴承以及防侧隙正齿轮传动装置从而提供高旋转精度,并且配雷尼绍的超高真空圆光栅形成位置全闭环。 |
型号
| MECH-R3
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旋转范围 | 0~360° |
整步分辨率 | 0.001° |
重复定位精度(实测值)
| 0.0002° (0.72角秒) |
适用真空度 | 1x10-10mbar=1x10-8Pa |
中心负载 | 20kg |
最大速度 | 2°/s |
同心度 | ±8μm |
详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:
AML-MECH-R3系列真空旋转平台
尺寸图 
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详细请联系北京星微自动化科技有限公司(英国AML的真空旋转台可以根据客户要求设计)