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专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

R3系列 超高真空旋转台

产品详情

R系列采用符合超高真空标准的材料,并采用精密环形轴承以及防侧隙正齿轮传动装置从而提供高旋转精度,并且配雷尼绍的超高真空圆光栅形成位置全闭环。
型号
MECH-R3
旋转范围   0~360°
整步分辨率

0.001°

重复定位精度(实测值)
0.00027° (0.972角秒)
适用真空度1x10-10mbar=1x10-8Pa
中心负载20kg
最大速度2°/s
同心度±8μm

详细请联系北京星微自动化科技有限公司(英国AML的真空旋转台可以根据客户要求设计)