设为首页 | 收藏本站
|
sales@xivimotion.com
微信关注公众号
18201099680
专注于超高真空(1×10⁻⁸Pa)、高低温(-196℃~+190℃)、耐辐照(1×10⁶Gy)、精密运动系统的高科技企业
北京星微自动化科技有限公司

VSM30 真空位移台(长行程)

产品详情

20240527

英国AML超高真空位移台/运动平台-VSM30系列的行程范围从500到1000mm,可以支持负载高达20公斤,整步分辨率1µm和5µm两种规格,此结构具有高的刚性,标准化的模块化设计可直接兼容所有VSM23和VSM17系列的真空运动平台,可以直接堆叠XY二维真空运动平台,无需转接板

适用于真空度:1x10-10mbar,工作温度:-65℃~+150℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy

规格

单位

VSM30-X-***VSM30-X-***-HR

行程

mm

500/600/700/800/900/1000

整步分辩率

μm

5

1

最大速度

mm/s

25

5

双向重复定位精度

μm

优于1μm

水平负载能力

kg

40

负载力矩

Nm

10

轴向力@1A

kg

2040

间隙 Backlash

μm

±1μm

工作温度

-65ºC ~ +150ºC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar=1x10-8Pa

耐辐射总剂量Gy1 x 106Gy
烘烤温度°C铝合金150℃,不锈钢200℃,带光栅尺120℃

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000

尺寸图:



详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看:

20190912‍‍‍‍‍‍AML-VSM30-X系列真空运动平台‍

5微米分辨率 订货型号如下:
VSM30-X-******表示行程,包含限位开关,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM30-X-***-ER***表示行程,ER表示增加光栅尺(增量式)
VSM30-X-***-EA***表示行程,EA表示增加光栅尺(绝对式)
1微米分辨率 订货型号如下:
VSM30-X-***-HR***表示行程,包含限位开关,无光栅尺,平台主体是铝合金材质
VSM30-X-***-HR-ER***表示行程,ER表示增加光栅尺(增量式)
VSM30-X-***-HR-EA***表示行程,EA表示增加光栅尺(绝对式)
订货示例:VSM30-X-1000-HR-LS(1000mm行程,1μm整步分辨率,增加限位)