VSM30 真空位移台(长行程)

产品详情

20240527

AML超高真空位移台/运动平台-VSM30系列的行程范围从500到1000mm，可以支持负载高达20公斤，整步分辨率1µm和5µm两种规格，此结构具有高的刚性，标准化的模块化设计可直接兼容所有VSM23和VSM17系列的真空运动平台，可以直接堆叠XY二维真空运动平台，无需转接板。适用于真空度:1x10^-10mbar，工作温度:-65℃～+150℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM30-X-***	VSM30-X--HR*
行程	mm	500/600/700/800/900/1000
整步分辩率	μm	5	1
最大速度	mm/s	25	5
双向重复定位精度	μm	优于±2μm
水平负载能力	kg	40
负载力矩	Nm	10
轴向力@1A	kg	20	40
间隙 Backlash	μm	±1μm
工作温度	℃	-65ºC ~ +150ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	铝合金150℃，不锈钢200℃，带光栅尺120℃
MTBF-5kg负载,30%占空比	小时	15000

尺寸图：实物视频详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看： ‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍ AML-VSM30-X系列真空运动平台‍
5微米分辨率订货型号如下：
VSM30-X-****	*表示行程，包含限位开关，无光栅尺，平台主体是铝合金**材质
VSM30-X-***-ER	***表示行程，ER表示增加光栅尺（增量式）
VSM30-X-***-EA	***表示行程，EA表示增加光栅尺（绝对式）
1微米分辨率订货型号如下：
VSM30-X-***-HR	***表示行程，包含限位开关，无光栅尺，平台主体是铝合金材质
VSM30-X-***-HR-ER	***表示行程，ER表示增加光栅尺（增量式）
VSM30-X-***-HR-EA	***表示行程，EA表示增加光栅尺（绝对式）
订货示例：VSM30-X-1000-HR-LS（1000mm行程，1μm整步分辨率，增加限位）