适用于真空度:1x10-10mbar,工作温度:-196℃~+190℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格
单位
行程
mm
最大速度
mm/s
水平负载能力
kg
20
-196ºC ~ +190ºC
适用于真空度
mBar
1 x 10-10mbar=1x10-8Pa
MTBF-5kg负载,30%占空比
小时
AML-VSM23-P系列真空导轨