三轴XRT真空模组

产品详情

AML三维超高真空高低温耐辐射位移台-是由标准VSM系列搭建，具有高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。适用于真空度:1x10^-10mbar，工作温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM17-XRT-***
行程	mm	X=50至1000mm，R=360°，T=±15°
微步能力 / 最小步长	μm	5或者1
最大速度	mm/s	15
推荐真空环境中速度	mm/s	2
重复性 Repeatability	μm	优于1μm和0.001°
最终水平负载能力	kg	20
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	200℃
润滑方式	可选	超高真空润滑脂/固体润滑
MTBF-5kg负载,30%占空比	小时	15000

订单型号
VSM17-XRT-***	***表示行程，标准平台无限位，无光栅尺
VSM17-XRT--LS*	***表示行程，LS表示增加2个前后限位开关
VSM17-XRT--E*	***表示行程，E表示增加光栅尺（增量式/绝对式）
VSM17-XRT--R*	***表示行程，R表示真空耐辐射版本
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