VSM19-Z 真空升降平台

产品详情

AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射升降平台-VSM19-Z系列具有高的刚性和精度，使用特殊性处理的交叉滚子导轨，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可根据要求定制；
轴系 Axis	运动方式 Type	移动范围 Movement	重复定位精度 Repeatability	微步能力 Resolution	最大速度 Max.speed
Z	上下移动	20mm	优于1μm	1μm	2mm/s
1，适应于真空度1x10^-8Pa=1x10^-10mBar； 2，工作温度-65℃/-196℃~+190℃； 3, 耐辐照总吸收剂量：1x10⁶Gy； 4，承载重量：25kg； 5，所有轴均有超高真空限位开关或者选配超高真空光栅尺读数头；

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