A系列宽体重载真空位移台

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AML超高真空环境兼容位移平台-A系列具有高的刚性和精度，使用特殊性处理的交叉滚子导轨，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。可根据要求定制；
轴系 Axis	运动方式 Type	移动范围 Movement	双向重复定位精度 Repeatability	微步能力 Resolution	最大速度 Max.speed
X	直线移动	80mm	优于1.8μm	5μm	2mm/s
1，适应于真空度1x10^-8Pa=1x10^-10mBar； 2，承载重量：60kg； 3，包含绝对式真空光栅尺；

详细请联系北京星微自动化科技有限公司

A系列 宽体重载真空位移台