VSM19-X 真空位移台

产品详情

AML超高真空位移台-VSM19系列具有高的刚性和精度以及高的轴向承载能力，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。标配限位开关和DB15真空接头，可以直接堆叠XYZ二维真空运动平台，无需转接板。适用于真空度:1x10^-10mbar，工作温度:-196℃～+190℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM19-X-***	VSM19-X--HR*
行程	mm	100/150/200/250/300
微步能力 / 最小步长	μm	5	1
最大速度	mm/s	15	3
推荐真空环境中最大速度	mm/s	5	1
重复性 Repeatability	μm	优于1μm
水平负载能力	kg	50
负载力矩	Nm	<30
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	15（HR选项为50kg）
间隙 Backlash	μm	优于1μm
直线度（无负载）	μm	3μm / 100mm
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	铝合金150℃，不锈钢200℃，带光栅尺120℃
润滑方式	可选	超高真空润滑脂/固体润滑
MTBF-5kg负载,30%占空比	小时	15000

5微米分辨率订货型号如下：
VSM19-X-***	*表示行程，标准包含2个限位开关，平台主体是铝合金**材质
VSM19-X-***-SS	*表示行程，标准包含2个限位开关, 平台主体是不锈钢**材质
VSM19-X-***-ER	***表示行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）
VSM19-X-***-R	***表示行程，R表示真空耐辐射版本
1微米分辨率订货型号如下：
VSM19-X-***-HR	***表示行程，标准包含2个限位开关，平台主体是铝合金材质
VSM19-X-***-SS-HR	***表示行程，标准包含2个限位开关, 平台主体是不锈钢材质
VSM19-X-***-HR-ER	***表示行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）
VSM19-X-***-HR-R	***表示行程，R表示真空耐辐射版本
订货示例：VSM19-X-100-HR-EA（100mm行程，1μm整步分辨率，绝对式光栅尺）
详细尺寸图及规格请下载以下PDF文档查看： ‍‍‍‍‍‍‍‍‍ AML-VSM19系列真空运动平台‍‍‍‍‍

VSM19-X视频演示：