VSM17-Z 真空升降台

产品详情

AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射升降台-VSM系列具有高的刚性和精度，使用特殊性处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、真空电机、真空兼容的材料以及特殊传动装置从而达到平滑精密运动。此款升降台基于标准的VSM17-Z更改电机来实现高分机械位移分辨率，可以满足0.1μm；适用于真空度:1x10^-10mbar，工作环境温度:-65℃～+190℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
规格	单位	VSM17-Z-050-PG10	VSM17-Z-070-PG10
行程	mm	50	70
微步能力 / 最小步长	μm	0.1
重复性 Repeatability	μm	2
中心负载能力	kg	30
负载力矩	Nm	80	42
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载）	°	±0.0045	±0.0038
Roll,Pitch & Yaw （无负载）	°/Nm	±0.003	±0.004
直线度（无负载）	μm	5μm / 100mm
工作温度	℃	-65℃/-196ºC ~ +175ºC
适用于真空度	mBar	1 x 10^-10mbar=1x10^-8Pa
耐辐射总剂量	Gy	1 x 10⁶Gy
烘烤温度	°C	200℃（当增加光栅尺的时候是120℃）

订单型号
VSM17-Z-xxx-PG10	xxx表示有效行程，标准平台（无限位，无光栅尺）
VSM17-Z-xxx-LS-PG10	xxx表示有效行程，LS表示增加前后2个真空限位开关
VSM17-Z-xxx-ER-PG10	xxx表示有效行程，ER表示增加增量式光栅尺（绝对式为EA）